International Standards and Conformity Assessment for all electrical, electronic and related technologies

SC 47F

Systèmes microélectromécaniques

 

Détail

Comité
Groupes de Travail
Chef de Projet

Statut

Courant

Frcst Pub
Date

Date

Stabilité

SC 47F01J-H. Kim and H-J. LeePPUB2014-062017

Historique

Stage
Document
Downloads
Date de Décision
Date Cible
PNW
47F/95/NP pdf file 950 kB
2011-07-29 
ANW
47F/111/RVN pdf file 123 kB
2011-12-022011-12-15
1CD
47F/127/CD pdf file 1380 kB
2012-08-062012-07-31
CDM
47F/136/CC doc file 121 kB
pdf file 133 kB
47F/136A/CC doc file 130 kB
pdf file 161 kB
2012-10-16 
ACDV
47F/136/CC doc file 121 kB
pdf file 133 kB
47F/136A/CC doc file 130 kB
pdf file 161 kB
2012-12-032012-11-30
CCDV
47F/147/CDV pdf file 34 kB
47F/147A/CDV pdf file 218 kB
pdf file 224 kB
2013-04-032013-02-28
ADIS
47F/171/RVC doc file 94 kB
pdf file 54 kB
2013-08-302013-10-15
DEC
2014-01-212013-12-31
RDIS
2014-01-282014-02-15
CDIS
47F/185/FDIS

2014-03-142014-04-30
APUB
47F/189/RVD pdf file 45 kB
2014-05-202014-05-15
BPUB
2014-05-212014-05-31
PPUB
2014-06-192014-06-30

Projet

IEC 62047-21 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

 

Remarque:

Project plan - CDV: 2013-03, FDIS: 2014-03 Relevant docs: IEC 62047-8, Micro-electromechanical devices Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films