International Standards and Conformity Assessment for all electrical, electronic and related technologies

SC 47F

Systèmes microélectromécaniques

 

Détail

Comité
Groupes de Travail
Chef de Projet

Statut

Courant

Frcst Pub

Date

Date

Stabilité

SC 47F01S. Park and J-S. ParkCDIS2015-032017

Historique

Stage
Document
Downloads
Date de Décision
Date Cible
PNW
47F/107/NP pdf file 713 kB
2011-09-30 
ANW
47F/116/RVN pdf file 25 kB
47F/116A/RVN pdf file 192 kB
2012-01-112012-02-15
1CD
47F/125/CD pdf file 437 kB
2012-07-272012-07-31
CDM
47F/134/CC doc file 228 kB
pdf file 204 kB
47F/134A/CC doc file 261 kB
pdf file 270 kB
2012-10-02 
A2CD
47F/134/CC doc file 228 kB
pdf file 204 kB
47F/134A/CC doc file 261 kB
pdf file 270 kB
2012-12-052012-11-30
2CD
47F/151/CD pdf file 474 kB
2013-03-222013-02-28
ACDV
47F/170/CC doc file 102 kB
pdf file 70 kB
2013-08-302013-06-30
CCDV
47F/181/CDV
pdf file 379 kB
pdf file 349 kB
2014-02-062013-12-31
ADIS
47F/204/RVC doc file 106 kB
pdf file 87 kB
2014-10-032014-08-15
DEC
2014-10-152014-12-31
RDIS
2014-10-212014-10-31
CDIS
47F/209/FDIS pdf file 348 kB
2014-12-052015-01-15
APUB
 2015-02-15
BPUB
 2015-02-28
PPUB
 2015-03-31

Projet

IEC 62047-16 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16: Méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS ; méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux

 

Remarque:

Project plan - CDV: 2013-01, FDIS: 2014-01