International Standards and Conformity Assessment for all electrical, electronic and related technologies

SC 47F

Systèmes microélectromécaniques

 

Détail

Comité
Groupes de Travail
Chef de Projet

Statut

Courant

Frcst Pub
Date

Date

Stabilité

SC 47F01S. Park and J-S. ParkRDIS2015-042017

Historique

Stage
Document
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Date de Décision
Date Cible
PNW
47F/107/NP  
2011-09-30 
ANW
47F/116/RVN  
47F/116A/RVN  
2012-01-112012-02-15
1CD
47F/125/CD  
2012-07-272012-07-31
CDM
47F/134/CC  
47F/134A/CC  
2012-10-02 
A2CD
47F/134/CC  
47F/134A/CC  
2012-12-052012-11-30
2CD
47F/151/CD  
2013-03-222013-02-28
ACDV
47F/170/CC  
2013-08-302013-06-30
CCDV
47F/181/CDV
pdf file 379 kB
pdf file 349 kB
2014-02-062013-12-31
ADIS
47F/204/RVC doc file 106 kB
pdf file 87 kB
2014-10-032014-08-15
DEC
2014-10-152014-12-31
RDIS
2014-10-212014-10-31
CDIS
 2015-01-15
APUB
 2015-03-15
BPUB
 2015-03-31
PPUB
 2015-04-30

Projet

IEC 62047-16 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16: Méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS ; méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux

 

Remarque:

Project plan - CDV: 2013-01, FDIS: 2014-01