International Standards and Conformity Assessment for all electrical, electronic and related technologies

SC 47F

Systèmes microélectromécaniques

 
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SC 47F Fichiers Projets (36)

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E47F/4
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E47F/5
IEC 62047-1 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1: Termes et définitions
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
ByesWebstore
ACDV
  • ACDV
  • Draft approved for Committee Draft with Vote
E2015-11yes
IEC 62047-2 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2: Méthode d'essai de traction des matériaux en couche mince
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2006-10yesWebstore
IEC 62047-3 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 3: Eprouvette d'essai normalisée en couche mince pour l'essai de traction
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2006-10yesWebstore
IEC 62047-4 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 4: Spécification générique pour les MEMS
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2008-09yesWebstore
IEC 62047-5 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
PPUB
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B2011-08yesWebstore
IEC 62047-5 fC1 Ed. 1.0

Corrigendum 1 - Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF
PPUB
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IEC 62047-6 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
PPUB
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  • Publication issued
B2009-04yesWebstore
IEC 62047-7 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des fréquences radioélectriques
PPUB
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  • Publication issued
B2011-06yesWebstore
IEC 62047-8 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
PPUB
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  • Publication issued
B2011-03yesWebstore
IEC 62047-9 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositif microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
PPUB
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  • Publication issued
B2011-07yesWebstore
IEC 62047-9 fC1 Ed. 1.0

Corrigendum 1 - Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
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IEC 62047-10 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2011-08yesWebstore
IEC 62047-10 fC1 Ed. 1.0

Corrigendum 1 - Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
PPUB
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IEC 62047-11 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
PPUB
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B2013-07yesWebstore
IEC 62047-12 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS)
PPUB
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  • Publication issued
B2011-09yesWebstore
IEC 62047-13 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS
PPUB
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  • Publication issued
B2012-03yesWebstore
IEC 62047-14 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2012-03yesWebstore
IEC 62047-15 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromecaniques - Partie 15: Méthode d'essai de la résistance de collage entre PDMS et verre
CCDV
  • CCDV
  • Draft circulated as Committee Draft with Vote
B2015-03yes
IEC 62047-16 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16: Méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS ; méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux
CCDV
  • CCDV
  • Draft circulated as Committee Draft with Vote
B2015-03yes
IEC 62047-17 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 17: Méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces
ADIS
  • ADIS
  • Approved for FDIS circulation
B2015-04yes
IEC 62047-18 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 18: Méthodes d'essai de flexion des matériaux en couche mince
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2013-07yesWebstore
IEC 62047-19 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 19: Compas électroniques
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2013-07yesWebstore
IEC 62047-20 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 20: Gyroscopes
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2014-07yesWebstore
IEC 62047-21 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2014-06yesWebstore
IEC 62047-22 Ed. 1.0

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22: Méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples
PPUB
  • PPUB
  • Publication issued
B2014-06yesWebstore
2CD
  • 2CD
  • 2nd Committee Draft
E2015-12
ACDV
  • ACDV
  • Draft approved for Committee Draft with Vote
E2015-12
ANW
  • ANW
  • Approved New Work
E2016-1247F/173
ANW
  • ANW
  • Approved New Work
E2016-1047F/187